激光反光鏡微調(diào)機構(gòu)
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- 一、工作原理
此微調(diào)機構(gòu)用于激光干涉系統(tǒng)中,微調(diào)機構(gòu)可以使反光鏡平穩(wěn)的繞兩根相交軸線作微量轉(zhuǎn)動。其原理見示意圖:反光鏡鑲在座上,座由圈上的兩個頂針支頂著,座可以繞兩頂針軸線YY旋轉(zhuǎn);而圈由套上的兩個頂針支頂著,圈則可以帶著座繞此兩頂針軸線ZZ旋轉(zhuǎn)。從原理上說,在此情況下反光鏡可以轉(zhuǎn)到空間任意角度,但微調(diào)機構(gòu)只需要反光鏡在一定的空間角度中調(diào)節(jié)。具體如下。
反光鏡3鑲在反光鏡座2中,用壓圈7壓緊,彈簧4的主要作用防止把反光鏡壓碎。鏡座由固定在調(diào)節(jié)圈6上的兩只螺釘頂針支頂著(見俯視圖),鏡座可繞頂針軸線YY作一定角度的旋轉(zhuǎn);此小角度的旋轉(zhuǎn),由主視圖上的調(diào)節(jié)螺釘10來進行。當調(diào)節(jié)螺釘向下旋壓時,通過墊塊10(膠粘在鏡座尾巴上)使鏡座繞YY軸轉(zhuǎn)動,則反光鏡向上旋轉(zhuǎn);當調(diào)節(jié)螺釘向上旋時,由于鏡座尾巴套在盤簧13中(見C-C),盤簧彈力使鏡座轉(zhuǎn)動,則反光鏡向下旋轉(zhuǎn)。調(diào)節(jié)圈6是由固定在外套1上的兩只螺釘頂針支頂著(見主視圖),調(diào)節(jié)圈可繞頂針軸線ZZ作一定范圍的角度旋轉(zhuǎn);繞ZZ軸旋轉(zhuǎn)則由俯視圖上的調(diào)節(jié)螺釘進行,情況與上面類似。螺釘5和9起防松作用,螺釘12是用來固定盤簧的。 ...
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