超精密三坐標測量機整機結構設計
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- 摘 要
本文中，對三坐標測量儀的研究現狀和精密測量的關鍵技術做了總結，對所設計的測量儀的總體布局、床身的選材、導軌的設計、進給方式的選擇做了介紹，選用燕尾型氣體靜壓導軌，同步齒形帶和鋼帶傳動，摩擦桿進行驅動。對移動橋和溜板進行了簡單的ANSYS分析，計算了移動橋受力時最大的變形量和直線度；選用伺服電機作為動力源，并對其進行了簡單的功率計算，分析了測量儀的工作環境對其精度的影響和它的應用環境；定位采用開式光柵尺，對光柵尺的選型做了比較。最后針對測量儀整機進行精度分析，查找誤差源和精度的綜合分析。
關鍵詞：超精密、氣靜壓、高精度、精密測量
目 錄
1 緒 論 2
1.1 課題的來源 2
1.2 課題的意義 2
1.3 精密測量的研究現狀 2
1.4 精密測量的關鍵技術 6
2 超精密三坐標測量儀整機機構介紹 8
2.1 總體布局 8
2.2 床身材料選用 9
2.3 導軌的設計 10
2.4 進給傳動方式的選擇 14
2.5 測量儀整體結構設計 16
2.6 測量儀的工作原理 17
3 測量儀的主要零部件的設計 18
3.1 移動橋的設計 18
3.2 溜板的設計 19
3.3 電機選型 21
3.4 環境控制平臺 25
3.5 光柵尺的選型 26
4 測量儀精度分析 27
4.1 測量儀誤差源 27
4.2 測量儀精度分析 29
5 結束語 32
參考文獻 33
致 謝 34
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